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    集成電路超純水設備

    作者:北京水處理設備公司來源:超純水設備發布時間:2020-08-06

       集成電路超純水設備用于新興的光電材料生產、加工、清洗,LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏、高品質燈管顯像管、微電子工業、FPC/PCB線路板、電路板、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高,這也對超純水處理工藝及產品的簡易性、自動化程度、生產的連續性、可持續性等提出了更加嚴格的要求。都應該使用多種純化技術相結合制取高品質的純水,這樣才能大大提高純水的純度,符合用水需求。而臨床實驗用純水設備采用雙級反滲透技術與純化、殺菌技術相結合,出水水質達到美國ASTM、NCCLS、CAP試劑級純水標準。

      集成電路超純水設備工藝設計

      1、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象 (≥18MΩ、CM)(傳統工藝)。

      2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0、2或0、5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ、CM)(新工藝)。

      3、預處理→一級反滲透→加藥機(PH調節)→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0、2或0、5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ、CM)(新工藝)。

      4、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0、2或0、5μm精密過濾器→用水對象(≥15MΩ、CM)(新工藝)。

      5、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象 (≥15MΩ、CM)(傳統工藝)。

    集成電路超純水設備

      集成電路超純水設備設備特點

      1、采用進口反滲透膜,脫鹽率高,使用壽命長,運行成本低廉。

      2、無需酸堿處理,環保無“三廢”。

      3、自動控制,自動維護,水質在線檢測,隨時監測水質變化。

      4、切合當地水質的個性化設計,全方位滿足需求。

      5、全自動控制系統,日常操作極為簡便,系統自動進行沖洗維護,制取產品水過程不需要任何手工操作。

      6、雙流路設計,不但可以制造超純水,還生產純水,方便用戶實驗室的不同級別用水要求。

      7、預留了升級空間?梢愿鶕脩粜枰p松實現功能升級。

      集成電路超純水設備技術參數

      電子級超純水設備出水水質完全符合美國ASTM純水水質標準、我國電子工業部電子級水質技術標準(18MΩ、cm、15MΩ、cm、10MΩ、cm、2MΩ、cm、0、5MΩ、cm五級標準)、我國電子工業部高純水水質試行標準、美國半導體工業用純水指標、日本集成電路水質標準、國內外大規模集成電路水質標準。

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